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1.高定位精度---由于線性滑軌移動時摩擦力非常小，屬于滾動摩擦，故只需極小的動力即可驅(qū)動平臺，因為摩擦力小，故而摩擦所產(chǎn)生的熱極小，相較于傳統(tǒng)的滑動方式，可大幅降低運行軌道接觸面的磨損，能長時間維持高定位精度、行走精度與低磨損。

2.高剛性---由于滑軌與軌道采用四方向等負荷設(shè)計，故對于來自于各方向之負荷，都須具有足夠的抵抗強度，且具備自動調(diào)心之能力，可允許較大的安裝誤差使加工較容易，并可施予足夠的預(yù)壓量以獲得高剛性。

3.保養(yǎng)維護容易---相較于傳統(tǒng)的滑動系統(tǒng)，均有對于運行的軌道面進行鏟花或研磨的動作，因滑動所產(chǎn)生的磨耗性往往使得機臺一段時間就必須重新鏟花或研磨，曠日費時且成本極高，線性滑軌具有互換性，若進行更換或維修即可恢復(fù)機臺之行走精度。